P15 壓電掃描臺是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺，具有非常高的直線度。中心通孔 66×66mm，非常適于透射光應用，如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。P15 壓電掃描臺運動行程為300μm/ 軸，它的內部采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構。 FEA 使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動最小化。
特點：
- 三維運動
- 行程范圍為 300μm/ 軸
- 可選配閉環傳感器
- 無摩擦、高精度撓性導向系統
- 掃描平整度高
- 通孔尺寸 66×66mm
應用：
掃描顯微鏡、掩模 / 晶圓定位、干涉、度量衡學、生物技術、微操作等。
技術參數：
尺寸圖：
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